Uα-1B 气体减压器

进口压力:300psig｜出口压力:-25in Hg~0~30psig 30、60、100、150psig｜材质:316L（VIM+VAR）｜工作温度-10℃~60℃

类别：

产品信息

产品介绍
Uα-1B 气体减压器专为超高纯气体，半导体级工艺气体设计，满足超大规模集成电路的使用要求。
主要部件材料
阀体	316L（VIM+VAR）
膜片	UNS N06022
阀针	316L（VIM+VAR）/ UNS N10276
密封垫	PCTFE / PI
手柄	ABS
阀盖	316L
工作条件
进口压力	300psig
出口压力	-25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig
原压变动	1.3psig / 100psig
工作温度	-10 ～ 60℃
内漏率	≤ 1×10^-10Pa.m³ /sec.He
外漏率	≤ 1×10^-10Pa.m³ /sec.He
流量系数	1.1
内表面粗糙度	Ra ≤ 0.1μm
产品特点
适用于 VMB、VMP
提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件选项
每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测
内部无弹簧，内部死体积小，减少了颗粒物的存留
束缚膜片结构，增加安全性