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手动真空波纹管角阀系列

内表面粗糙度:Ra ≤ 0.13μm|工作温度:-10 ~ 80℃


产品信息

产品介绍

手动真空波纹管角阀采用316L波纹管并结合洁净工艺处理,使阀门在使用过程中减少颗粒物的产生,非常适用于半导体行业或研究环境。它主要用于规格仪表或系统隔离,同时也推荐作为通气、旁路或粗抽阀使用。

主要部件材料

阀体                       316L /316L(VIM+VAR)

密封圈                    FKM

波纹管                    316L

手柄                       6061

工作条件

真空压力等级         0.1Mpa-1x10-9 pa

漏率                      ≤ 1×10-10 Pa.m3 /sec.He

CV值                      1.0/1.5/2.2

工作温度                -10 ~ 80℃

内表面粗糙度          Ra ≤ 0.13μm

产品特点

采用 316L 波纹管并结合洁净工艺处理

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关键词:

气体管阀件

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