前驱体源瓶

前驱体源瓶

超纯物料类的封装，涉及微正压、常压、中低压
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一体化气体分配系统

一体化气体分配系统

利用平面密封技术，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统
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手动真空波纹管角阀系列

手动真空波纹管角阀系列

内表面粗糙度：Ra ≤ 0.13μm｜工作温度：-10 ～ 80℃
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BV2球阀

BV2球阀

工作压力 真空至 200psig｜工作温度 -28 ～ +150℃
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气动真空波纹管角阀系列

气动真空波纹管角阀系列

开启压力：0.5Mpa-0.8Mpa｜工作温度：-10 ～ 80℃
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手动波纹管截止阀

手动波纹管截止阀

工作温度：-10 ～ 80℃ /‘0 ～ 220℃｜压力等级：0 ～ 400psig
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气动波纹管截止阀系列

气动波纹管截止阀系列

开启或关闭压力：0.5Mpa-0.8Mpa｜工作温度：-10 ～ 80℃ /‘0 ～ 220℃
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BVT阀门

BVT阀门

工作压力 真空至 1000psi｜工作温度 -30 ～ +150℃
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QPV（H）高速隔膜阀

QPV（H）高速隔膜阀

工作压力：真空至145psig｜流量系数：0.27/0.62｜工作温度：0 ～ 70℃，0 ～200℃（高温型）
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