产品信息
产品介绍
QPH（H） 系列高速隔膜阀，膜片式硬密封，超低漏率，长寿命，快速响应，可选耐高温；适用于原子层沉积（ALD）系统，主要用于集成电路晶圆生产的环节。超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体。
主要部件材料
阀体 316L （VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫 PFA
工作条件
工作压力 真空至145psig
流量系数 0.27/0.62
工作温度 0 ～ 70℃，0 ～200℃（高温型）
内漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
内表面粗糙度 Ra≤0.13μm
产品特点
快速响应下的超长使用寿命
耐高温执行器
每台阀门进行单独氦质谱泄漏测试
可选的模块化表面安装、卡套管对焊和UCR® 端接
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2024-11-21
2023887700线路检测中心阀阀系列QPV-H.pdf
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