产品信息
产品介绍
MGDS 底座为一体化气体分配系统技术提供了一种方法，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统，利用平面密封技术。每个表面安装 组件遵循SEMI标准。可根据需求形成不同的配置形式。维护时，仅需在面板上方进行操作，简单方便。
工作条件
工作压力 1Mpa
工作温度 -10 ～ 200℃
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
技术特征
漏率测试 外漏率 5X10-10Pa.m3 /sec.He，符合实际生产需求。
清洁 10 级洁净间超纯水清洗。
EP 工艺 内部经过 EP 工艺处理后，内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm，满足超高纯度气体系统要求。
安装 满足 SEMI 安装标准。
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2024-11-21
MGDS底座
关键词：
气体管阀件
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