产品信息
产品介绍
DPH 系列气动隔膜阀，膜片式硬密封结构，超低漏率，超长使用寿命，稳定快速的侧进气执行机 构；适用于超高纯 度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足超大规模集成电路的工艺气体要求。
主要部件材料
阀体 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫 PCTFE
工作条件
工作压力 真空至 300psig
爆破压力 3000psig
流量系数 0.5
工作温度 -10 ～ 70℃
内漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
内表面粗糙度 Ra≤0.1μm
产品特点
适合超高纯度气体应用
Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片
快速、可重复执行的气动执行机构
每台阀门进行单独的氦质谱检测
超长使用寿命（400 万次实验值）
相关下载
2024-11-21
DPH_系列气动隔膜阀.pdf
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