Xα-1H 气体减压器

进口压力:3500psig｜出口压力:30、60、100、150psig｜材质:316L｜工作温度-10℃~60℃

类别：

产品信息

产品介绍
Xα-1H 气体减压器。单级膜片式结构设计，硬密封结构，内部电解抛光处理；高压输入，低压标准流量输出，输出压力稳定；适用于半导体级高纯气体、毒性、腐蚀性、易燃易爆气体等。
主要部件材料
阀体	316L/316L（VIM+VAR）
膜片	UNS N06022
阀针	316L / UNS N10276
密封垫	PCTFE / PI
手柄	ABS
阀盖	316L
工作条件
进口压力	3500psig
出口压力	30,60,100,150psig
原压变动	0.8psig / 100psig
工作温度	-10 ～ 60℃
内漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系数	0.09
内表面粗糙度	Ra ≤ 0.1μm
产品特点
适用于特气柜
提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件选项
每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测
膜片与阀体之间采用金属对金属密封设计，密封性能极好