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Xα-1L 气体减压器

进口压力:300psig|出口压力:30、60、100、150psig|材质:316L|工作温度-10℃~60℃


产品信息

 产品介绍
Xα-1L气体减压器。单级膜片式设计,硬密封结构,内部电解抛光处理;低压输入,低压标准流量输出,输出压力稳 定;适用于半导体级高纯气体、毒 性、腐 蚀性、易燃易爆气体等。
主要部件材料
阀体 316L/316L(VIM+VAR)
膜片 UNS N06022
阀针 316L / UNS N10276
密封垫 PCTFE / PI
手柄 ABS
阀盖 316L
工作条件
进口压力 300psig
出口压力 30,60,100,150psig
原压变动 1.6psig / 100psig
工作温度 -10 ~ 60℃
内漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系数 0.24
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
产品特点
适用于VMB、VMP
提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件选项
每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测
膜片与阀体之间采用金属对金属密封设计,密封性能极好

相关下载

2024-11-21

Xa-1L气体减压器.pdf

关键词:

气体管阀件

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